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在蝕刻加工的工藝中,除不經任(rèn)何防蝕處理的整體蝕刻方法外,都必須要注(zhù)意(yì)防蝕層下蝕刻的“蔓(màn)延”問題(tí),也就是我們(men)常說的側腐蝕。側腐(fǔ)蝕的大小直接關係到圖(tú)文的精度和蝕刻線條的極限尺寸。通常把防蝕層下的水平方向的蝕刻寬度 稱為側(cè)蝕量,側蝕量(liàng) 與蝕刻深度 的比(bǐ)值就是側蝕率(lǜ) :
式中:
以上有關圓弧(hú)蝕刻窗口的最小寬度與蝕刻深度的比值、蝕刻液的組成、蝕刻方法(fǎ)及材料種類(lèi)等的影響較大。側蝕刻的量決定了化學蝕刻的精度,側蝕量越小,加(jiā)工的精度越(yuè)高,適用的範圍就越寬,反之,加工的精度低,適用範圍小。
側蝕量(liàng)的大小主要受金屬材料的(de)影響,在常用的幾種金屬(shǔ)材(cái)料(liào)中,以銅的側蝕量最小,鋁的側蝕量最大。選擇更為(wéi)優越的蝕(shí)刻劑(jì),雖然(rán)蝕刻的速度提(tí)高並不明顯,但的確可改善金屬蝕刻加工(gōng)的側蝕量。